三新股份有限公司

系列

類型

流量特性
2→3 (2→1)
C［dm3/（ s・bar）］

流量特性
2→3 (2→1)
b

流量特性
2→3 (2→1)
Cv

消費電力（W）

真空使用可能

VQ100

標準

0.083

0.28

0.021

1.0

-100kPa

大流量

0.14

0.25

0.036

0.5 (低ワットタイプ)

-100kPa