系列
流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s・bar）］
流量特性 2a/2b→3（E） b
消費電力（W）
真空使用可能
VV100
0.05
0.29
0.4（標準） 0.15（節電回路付）
－100kPa
更多說明請參閱SMC官方網站。
