三新股份有限公司

產品介紹

回首頁 產品介紹 SMC速睦喜 空壓產品 高真空元件 半導體用高真空閘 夾縫閥/門閥
產品介紹
夾縫閥/門閥
夾縫閥/門閥 ( XGT/XGD )
產品介紹 :
夾縫閥/門閥
XGT/XGD
詢價清單(0)
加入詢價
功能說明

      

  • 450mm晶圓對應閘閥
  • 頂部接近
  • 波紋管更換
  • 採用2段結構的行為
  • 結束與一個鎖定機構

規格說明

系列

使用壓力範圍(Pa)

使用流體

接口尺寸
（高×寬）（mm）

作動壓力

(MPa)

XGT/夾縫閥

大氣壓～1×10-6

惰性氣體

56×496

0.45～0.6

XGD/門閥

大氣壓～1×10-6

惰性氣體

56×496

0.4～0.6

< 上一頁