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回首頁 產品介紹 SMC速睦喜 空壓產品 高真空元件 半導體用高真空閘 夾縫閥
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夾縫閥
夾縫閥 ( XGT )
產品介紹 :
夾縫閥
XGT
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功能說明

     

  • 如在半導體器件中，負載鎖定室和傳送室中
    與傳送室並適和於處理室的閘閥。

規格說明

系列

使用壓力範圍(Pa)

使用流體

接口尺寸
（高×寬）（mm）

作動壓力

(MPa)

XGT

大氣壓～1×10-6

惰性氣體系統真空

32×222
46×236
50×336

0.45～0.6

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